재생에너지
세계에너지 위기가 심각해짐에 따라 재생에너지의 수요가 어느 때보다도 증가하고 있습니다. 재생에너지는 바람, 수소, 바이오매스, 지열, 태양열 등으로부터 얻을 수 있으며 에너지 변환 디바이스들이 재생에너지 기술시장을 구성하고 있습니다. 태양전지 및 전력 디바이스는 반도체 공정과 연관되어 있습니다.
태양에너지는 재생에너지의 대표 에너지로 Plasma-Therm은 태양전지 etch 및 PECVD 제품공급에 참여하고 있습니다.
Plasma-Therm 장비는 웨이퍼 규모의 태양광(PV) 및 집중 태양광(CPV) 방식의 전지생산에 수년간 사용되어 왔습니다. Silicon oxide and nitride deposition 뿐만 아니라 게르마늄(Ge) etching, gallium arsenide (GaAs) etching, 도핑 및 진성 실리콘, 비정질 실리콘 혹은 마이크로 결정 실리콘을 포함한 태양광 시장에 제품을 공급하고 있습니다.
일반 어플리케이션
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화합물 태양광 device etching분야에서 프로파일 제어를 유지하면서 높은 etch rate를 나타냄
- Ge
- III-V materials
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R&D 및 생산라인Deposition
- 비정질 실리콘(Amorphous silicon)
- 도핑된 실리콘(Doped)
- 진성 실리콘(Intrinsic)
- Silicon Oxide
- Silicon Nitride
- 반 반사코팅
제품
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