可再生能源
随着全球能源危机的加剧，对可再生能源来源的需要达到了前所未有的水平。可再生能源的来源有很多：风能、水能、生物质能、地热能和太阳能等等。能源转换为这些流程提供帮助的设备构成了可再生能源技术市场。与半导体加工关系最大的是太阳能电池和功率器件。
太阳能是可再生能源的主要市场驱动力，Plasma-Therm为太阳能电池生产提供蚀刻和PECVD流程，从而参与这个市场。
Plasma-Therm 系统多年以来一直被用于生产晶圆规模的光伏（PV）和集中式光伏（CPV）太阳能电池。我们服务太阳能市场的技术包括蚀刻锗（GE）和砷化镓（GaAs）、掺杂和内在的无定形或微晶硅沉积、以及氮化硅和氧化硅的沉积。
典型应用
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复合太阳能设备的蚀刻，实现了高蚀刻率，同时保持对剖面的控制。
- 锗
- III - V族材料
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研发和生产的沉积
- 非晶硅
- 掺杂
- 内在
- 氧化硅
- 氮化硅
- 防反射涂层
产品
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