纳米技术
纳米技术就是研究和使用原子或分子尺度的材料。纳米技术典型的尺寸是小于100纳米，并有可能创造出许多新材料和应用于医药、电子和能源生产领域的设备。
通过利用光掩膜、 DSE™ 和其他核心技术，以及深入理解纳米级的重要尺寸，Plasma-Therm 将继续满足不断增长的纳米技术市场的需求。
凭借在纳米技术领域的强有力的合作历史，以及研发市场领域的广泛发展， Plasma-Therm 帮助客户达成他们的研究目标。
典型应用
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光栅
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通道
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阵列（如有图案的媒体）
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薄膜栈
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高深宽比结构
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低温沉积
可控的蚀刻光栅和阵列是通过III - V族材料的低功耗流程实现的。
石英材料的纳米压印结构是利用Plasma-Therm 广泛的光掩膜计划的相关知识实现的。
对于纳米结构的沉积，Plasma-Therm 拥有低温PECVD流程，包括氮化硅、氧化硅、氧氮化物和无定形硅。
各种应用配套的流程之所以能够实现，是因为Plasma-Therm设备有多种选择。例如，Plasma-Therm 系统跨度大，从大气负荷到大格式盒到盒都有。
每个系统针对不同的流程化学提供了不同纬度，最大限度地减小系统改造。
产品
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